不朽情缘
硅基蒸镀设备
应用场景：适用于AR/VR近眼显示、智能穿戴等Micro OLED面板量产
产品应用
– 基板尺寸8英寸和12英寸
– Cluster Type
– 标准化
– 模块化
– 成膜均匀性高
– 光学对位
– 运营稳定
技术优势
– CCD高精密对位技术
– 模块化设计，可以满足客户多样化定制需求
– 高信赖性，可实现长时间稳定稼动生产
| 硅基蒸镀设备 | 规格参数 |
|---|---|
| 基板 | 8英寸 or 12英寸 wafer |
| 生产节拍 | 最快5分钟 (区分镀层) |
| 生产时间 | ≥144小时 |
| 膜厚均匀性：有机材料 | ≤2% (片内)；≤3%(片间) |
| 膜厚均匀性：金属材料 | ≤3% (片内)；≤2%(片间) |
| 速率稳定性（0.01?/s- 3?/s）有机材料 | Host ≤±2%，@1.0?/s |
| 速率稳定性（0.01?/s- 3?/s）Dopant | ≤±3%，@0.01?/s |
| 速率稳定性（0.01?/s- 3?/s）金属材料 | ≤±2%，@1.0?/s；≤±3%，@0.01?/s |
| 光学对位 | ≤±3μm（CCD） |
| 系统控制 | 控制系统PLC，PC (GUI S/W) |
京公网安备11030102010672号
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